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动智精密 – 超精密定位与测量解决方案

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              动 智 精 密 – 超 精 密 定 位 与 测 量 解 决 方 案 跳 转 至 内 容 i n f o @ m o t i o n s m a r t . c n 0 2 1 6 8 3 7 0 0 2 7 ; 1 8 7 0 1 8 1 9 4 2 7 E N 中 文 S e a r c h : S e a r c h 动 智 精 密 超 精 密 定 位 与 测 量 解 决 方 案 六 轴 系 统 高 精 度 六 轴 并 联 定 位 系 统 高 速 六 自 由 度 运 动 模 拟 器 平 移 台 超 低 温 纳 米 定 位 台 纳 米 定 位 台 快 反 镜 F S M 2 0 S 激 光 通 信 航 空 航 天 专 用 快 反 镜 F S M 2 0 超 高 带 宽 小 体 积 音 圈 快 反 镜 F S M 2 5 超 高 带 宽 小 体 积 音 圈 快 反 镜 F S M 4 0 中 型 口 径 音 圈 快 反 镜 F S M 5 0 标 准 版 本 音 圈 快 反 镜 F S M 5 5 大 口 径 音 圈 快 反 镜 F S M 6 0 大 口 径 音 圈 快 反 镜 F S M 8 5 超 大 口 径 音 圈 快 反 镜 M R E 2 2 5 ° 超 大 角 度 音 圈 快 反 镜 P S H 激 光 干 涉 仪 半 导 体 应 用 s e m i c o n d u c t o r 激 光 干 涉 仪 I D S 3 0 1 0 激 光 干 涉 位 移 传 感 系 统 I D S 3 0 1 0 传 感 探 头 选 型 联 系 我 们 A b o u t u s 六 轴 系 统 高 精 度 六 轴 并 联 定 位 系 统 高 速 六 自 由 度 运 动 模 拟 器 平 移 台 超 低 温 纳 米 定 位 台 纳 米 定 位 台 快 反 镜 F S M 2 0 S 激 光 通 信 航 空 航 天 专 用 快 反 镜 F S M 2 0 超 高 带 宽 小 体 积 音 圈 快 反 镜 F S M 2 5 超 高 带 宽 小 体 积 音 圈 快 反 镜 F S M 4 0 中 型 口 径 音 圈 快 反 镜 F S M 5 0 标 准 版 本 音 圈 快 反 镜 F S M 5 5 大 口 径 音 圈 快 反 镜 F S M 6 0 大 口 径 音 圈 快 反 镜 F S M 8 5 超 大 口 径 音 圈 快 反 镜 M R E 2 2 5 ° 超 大 角 度 音 圈 快 反 镜 P S H 激 光 干 涉 仪 半 导 体 应 用 s e m i c o n d u c t o r 激 光 干 涉 仪 I D S 3 0 1 0 激 光 干 涉 位 移 传 感 系 统 I D S 3 0 1 0 传 感 探 头 选 型 联 系 我 们 A b o u t u s H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 采 用 六 点 支 撑 运 动 台 面 ， 同 时 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 的 运 动 实 现 目 标 值 。 
 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 最 高 重 复 精 度 达 2 5 0 n m 。 
 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 产 品 系 列 包 含 从 7 0 m m 直 径 微 型 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 到 1 3 0 0 m m 以 上 大 型 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 。 
 最 大 负 载 高 达 1 7 t 。 
 同 时 H e x a p o d 六 自 由 度 定 位 台 支 持 极 端 环 境 应 用 ， 超 大 负 载 应 用 定 制 。 
 上 海 光 源 S S R F ( S h a n g h a i S y n c h r o t r o n R a d i a t i o n F a c i l i t y ) 0 8 U 梦 之 线 顺 利 交 付 1 吨 负 载 高 精 度 六 轴 并 联 定 位 台 展 会 信 息 I D S 3 0 1 0 / 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 I D S 3 0 1 0 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器   I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 探 测 头 选 型 I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 现 货 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 应 用 专 题 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 ， 皮 米 位 移 测 量 应 用 。 
 支 持 三 轴 测 量 ， 测 距 达 5 m 。 
 体 积 紧 凑 ， 易 于 工 业 集 成 。 
 测 量 精 度 达 ± 1 p p m 。 
 采 用 法 珀 干 涉 原 理 。 
 可 实 现 高 速 测 角 仪 功 能 。 
 兼 容 1 0 M G y 辐 射 环 境 。 
 目 标 值 测 量 带 宽 达 1 0 M H z 。 
 可 测 位 移 速 度 达 2 m / s 。 
 低 温 无 磁 触 点 开 关 可 用 于 超 低 温 ， 超 高 真 空 ， 强 辐 射 ， 强 磁 场 下 。 
 体 积 紧 凑 ， 稳 定 性 高 ， 兼 具 高 重 复 精 度 。 
 主 要 用 于 同 步 辐 射 ， 强 辐 射 领 域 ， 低 温 应 用 领 域 。 
 压 电 陶 瓷 纳 米 定 位 台 超 薄 三 维 平 台 设 计 ， 显 微 应 用 首 选 。 
 单 轴 平 移 台 最 高 自 振 频 率 达 1 2 5 0 0 H z 。 
 支 持 多 种 样 品 器 皿 ， 特 殊 内 嵌 式 培 养 皿 设 计 。 
 H e x a p o d 六 自 由 度 运 动 模 拟 器 可 实 现 高 动 态 复 杂 运 动 。 
 2 t 负 载 下 ， 加 速 度 高 达 0 . 7 g 。 
 主 要 用 于 漂 流 模 拟 、 惯 性 中 心 测 试 、 发 动 机 台 架 测 试 等 。 
 4 m K 低 温 定 位 台 低 温 定 位 台 可 用 于 强 磁 场 ， 4 m k 超 低 温 ， 5 E 1 1 m b a r 超 高 真 空 等 极 端 环 境 。 
 低 温 定 位 台 最 小 仅 1 5 × 1 5 × 1 0 m m 。 
 低 温 定 位 台 支 持 多 轴 宏 微 高 精 度 定 位 。 
 大 行 程 纳 米 定 位 台 平 移 纳 米 定 位 ， X Y 二 维 平 移 纳 米 定 位 台 ， 旋 转 台 ， 角 位 台 等 运 动 机 构 ， 陶 瓷 电 机 ， 行 程 达 5 0 m m ， 分 辨 率 达 1 n m 。 
 厚 度 仅 2 0 m m ， 支 持 多 轴 串 联 结 构 。 
 大 角 度 高 动 态 二 维 快 反 镜 二 维 快 反 镜 主 要 有 压 电 陶 瓷 二 维 快 反 镜 及 音 圈 二 维 快 反 镜 两 种 。 
 压 电 陶 瓷 二 维 快 反 镜 采 用 压 电 陶 瓷 作 为 驱 动 源 ， 实 现 二 维 摆 动 ； 该 二 维 快 反 镜 内 置 电 容 传 感 器 分 辨 率 达 0 . 0 5 μ r a d ， 工 作 频 率 达 1 k H z 。 
 音 圈 二 维 快 反 镜 则 是 利 用 磁 驱 动 原 理 ， 实 现 大 角 度 摆 动 范 围 ， 二 维 快 反 镜 角 度 可 达 3 度 ， 带 宽 达 2 0 0 H z 。 
 欢 迎 关 注 动 智 精 密 视 频 号 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 w a v e 软 件 视 频 介 绍 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 应 用 介 绍 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 应 用 介 绍 Z O N D A 高 精 度 六 轴 定 位 台 视 频 高 精 度 六 轴 动 态 模 拟 器 视 频 更 多 视 频 请 查 阅 动 智 精 密 视 频 号 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 应 用 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 动 智 精 密 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 精 密 加 工 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 长 行 程 高 速 位 移 测 量 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 高 分 辨 扫 描 X 光 荧 光 显 微 镜 测 试 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 超 高 精 度 非 接 触 式 轴 误 差 测 量 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 激 光 位 移 传 感 器 — — 主 轴 转 动 误 差 控 制 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 激 光 干 涉 测 量 I D S 3 0 1 0 / I D S 3 0 0 5 皮 米 精 度 激 光 干 涉 仪 / 激 光 位 移 传 感 器 — — 纳 米 平 移 台 质 量 控 制 方 案 六 轴 并 联 定 位 台 应 用 H E X A P O D 六 自 由 度 定 位 系 统 应 用 同 步 辐 射 衍 射 仪 大 型 光 学 应 用 沪 公 网 安 备 3 1 0 1 1 5 0 2 0 0 8 7 3 9 号 ; 沪 I C P 备 1 6 0 1 6 5 1 2 号 产 品 中 心 联 系 我 们 激 光 位 移 传 感 器 动 智 精 密 上 海 总 部 六 轴 精 密 定 位 台 动 智 精 密 北 京 办 事 处 大 型 龙 门 运 动 系 列 动 智 精 密 成 都 办 事 处 快 反 镜 & 压 电 纳 米 定 位 台 高 精 度 平 移 台 招 贤 纳 士   G o t o T o p

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